Dünnschicht beschreibt eine Technologie zur Herstellung von hochauflösenden Leiterplatte auf der Basis einer Keramik oder eines anderen Substrats wegen itshigh Grad der Integration, Dünnschichtsubstrate bilden die Basis für Pakete mit hoher Dichte (HDP).
Die Der Strukturierungsprozess ist vergleichbar mit einem traditionellen Schaltkreis board. Die Klebstoff, Widerstand und Metallisierung Filme werden hinterlegt die Substratoberfläche unter Verwendung von Sputtertechniken This Metallisierungstechnologie sorgt für eine optimale Haftung der Folien auf das Substrat. in der Folge fotolithografisch und Ätzprozesse, diese Filme sind strukturiert nach auf das Layout Anforderungen. Wenn notwendig, eine Galvanisierung der Leiter ist möglich. je nach Filmdicke minimale Strukturlösungen von 5 - 20 um erreicht werden kann Mit das entsprechende Material und Oberfläche Kombinationen, lötbar und verklebbare Oberflächen können hergestellt werden Thisenables die Verwendung der unterschiedlichsten Komponenten bis hin zu einer bloßen Matrize In dem Dünnfilm erzeugte Widerstände können auf einen festen Wert oder entsprechend getrimmt werden zu einem Ausgangssignal einer Hybridschaltung
Leistungen
Die Vorteile im Vergleich zu herkömmlichen Leiterplatten auch die thermischen und elektrischen Eigenschaften des Substratmaterials feine Linie Möglichkeiten. Die keramisches Grundmaterial ist sehr wärmeleitend und ist als eines der Chip-Basismaterialien optimal auf das Silizium abgestimmt Mit die oben genannten Strukturauflösungen, erheblich höhere Verpackung und Funktionsdichten können erreicht werden als auf einer herkömmlichen Leiterplatte
Anwendungen
Dünnschichtschaltungen erfüllen die höchsten Anforderungen in Bezug auf Zuverlässigkeit, Lebensdauer und Umweltverträglichkeit Sie werden hauptsächlich verwendet die Datenkommunikationseinheiten für Automobilbau, Telekommunikation, Medizin und Luft- und Raumfahrt Elektronik. durch die reproduzierbaren elektrischen Eigenschaften von das Basissubstrat und die hohe und präzise Strukturauflösung, thistechnology ist besonders gut geeignet für Hochfrequenz Anwendungen.
ECRIM Dünnschichtproduktfähigkeit
ECRI Die Mikroelektronik übernimmt die Verarbeitung von Dünnschichtprodukten mit unterschiedliche Waferdicke, bietet verschiedene kundenspezifische Dienstleistungen, Verarbeitung auf Provisionsbasis und Prozesslösungen von Dünnschichtprodukten, hat die Verarbeitungsfähigkeit wie Dünnschichtverdampfung, Sputtern, Laserätzen, Galvanisieren, Laserwiderstandstrimmen, Waferschneiden usw. und kann Bereitstellung von Prozessdesignschemata für Dünnschichtprodukte
Wir bieten Entwurfsschemata und Produkte für verschiedene Arten von Dünnschichtwiderständen und Widerstandsnetzwerken sowie Dünnschichtdämpfungsscheiben und können OEM bereitstellen Verarbeitung verschiedener Arten von Keramikfilmwafern und Mikrowellenwafern Wir mit zusammengearbeitet haben Viele Mikrowellen-Designeinheiten und die Frequenz des hergestellten Mikrowellenwafers können 40G erreichen Hz. Unsere Dünnschichtgeräte und -produkte nehmen innerhalb der Branche eine führende Position ein, die Dünnschichtproduktionslinie hat ISO9001: 2002 bestanden Zertifizierung und die Qualität unserer Produkte erfüllt die Anforderungen der allgemeinen Spezifikation für integrierte Hybridschaltungen (MIL-PRF-38534)
Tabelle 1 Eigenschaften und allgemeine Anwendungen von Wafermaterialien für Dünnfilme
Wafermaterial | Dielektrizitätskonstante und Toleranz | Wärmeausdehnungskoeffizient (ppm / oK) |
Aluminiumnitrid (AlN) | 8,85 + / - 0,35 - 1 MHz | 4.6 |
Aluminiumoxid 99,6 % (Al2O3 ) | 9.9 + / - 0,15 - 1 MHz | 6.5 |
* andere Wafer können separat gemäß per angepasst werden Kunden Nachfrage | ||
Tabelle 2 Die empfohlene Auftragsmethode für Dünnschichtwafer
Frequenz | empfohlene Dicke | empfohlene Abmessungen des Wafers (Zoll) |
≤6 ghz | 0,635 mm | 3 x 3 |
≤18 ghz | 0,380 mm | 3 x 3 |
≤40 ghz | 0,250 mm | 3 x 3 |
> 40 ghz | 0,125 mm | 2 x 2 |
Tabelle 3 Referenzwerte für das Design eines herkömmlichen Dünnfilms Schaltungen
Parameter | typischer Index | Limit Index | Bemerkungen |
Draht Breite / Linie Abstand | ≥25μm | 10μm | |
Bohrungsgröße | ≥500μm | 250μm | Laser schneiden |
Liniengenauigkeit | 3μm | 2μm | |
Grafikrand | ≥127μm | 50μm | |
Widerstandsgenauigkeit | ≤ ± 10 % | ± 0.1 % | Laserwiderstandstrimmen (mittlerer Widerstand) |
Dicke der Metallschicht | ≥1μm | 3μm |
Mikrowellenkomponenten, Schaltungsprodukte und Miniaturisierungstechnologie
basierend auf der Dünnschichttechnologie, dem ECRIM Der Geschäftsbereich entwirft und entwickelt hauptsächlich passive Hochleistungsfolienkomponenten, einschließlich Mikrostreifen Filter, Leistungsteiler, Dämpfungsglied, Mikrowellensubstrat usw. Aktive Module umfassen L, S, C, x-Band hybrider integrierter rauscharmer Verstärker, Mischer, Oszillator, Leistungsverstärker, Hochfrequenzkanal, LC Filter, Oberschwingungsgenerator und andere Produkte. Wir Passen Sie auch Komponenten und Komponenten für Kunden an. Produkte werden häufig in der drahtlosen Kommunikation, Navigation, Radar und anderen Luft- und Raumfahrt-, Luftfahrt- und Bodensystemen eingesetzt Es verfügt über eine Produktionslinie von 250.000 Quadratzoll Mikrowellensubstraten und 30.000 High-End-Substraten Hybrid-Dünnfilme mit integrierter Schaltung
Dünnschichttechnologie aufgrund ihrer hohen Präzision Der Herstellungsprozess und die hochstabilen Mikrowelleneigenschaften haben offensichtliche Vorteile gegenüber PCB und andere Prozesse auf dem Gebiet der Hochfrequenz es hat feine Linien, hohe Integration und gute Wärmeableitung Es kann Schaltkreise mit hoher Leistungsdichte erzeugen, insbesondere in Luft-, Projektil-, Satelliten- und einigen High-End-Schaltkreisen Hochfrequenzsysteme Die Merkmale der geringen Größe, des geringen Gewichts und der hohen Zuverlässigkeit sind stärker ausgeprägt
1. Dünnschichttechnologie
Produkte der Dünnschichttechnologie zeichnen sich durch hohe Präzision, hohe Dichte, hohe Frequenz und hohe Zuverlässigkeit aus sind in den Bereichen Hybrid-Verbindungssubstrat für integrierte Schaltkreise, Mikrowellengeräte, photoelektrische Kommunikation, Sensor, MCM, LED usw. weit verbreitet Typische Produkte sind Mikrowellensubstrat Mikrostreifen Filter, Dämpfungsglied, Dünnschicht-Präzisionswiderstand (Netzwerk) usw.
2. Die Design-Leitfaden
Auswahl von Keramiksubstraten
Tabellenauswahl der Hauptparameter des Keramiksubstrats
Substratparameter | beeinflussen | Anleitung |
Dicke | obere Frequenzgrenze | unterschiedliche Frequenz wählen unterschiedliche Dicke |
Minimalwert Öffnung | 50um | |
Dielektrizitätskonstante | Linienbreite | Dies hängt von der Geräteleistung ab |
Oberflächenrauheit | Breite der dünnsten Linie | Linie Breite: 10um |
Verlustfaktor | Einfügungsverlust | Der Verlust an allgemeinen Anforderungen ist geringer als 0,0005 |
Wärmeleitfähigkeit | Energieverschwendung | Aluminium Nitrid / Beryllium Oxid für Hochleistungsanwendungen |
3. Regeln für das Design von Dünnschichtschaltungen
Tabelle allgemeine Referenzindikatoren für Entwurfsregeln für Dünnschichtschaltungen
Projekt | Bedeutung | typische Werte | besondere Anforderungen |
Größe der Substrate und Chips | 2 Zoll Substrate ， Verwendbar Bereich | 46 × 46 | 48 × 48 |
Toleranz von Substratdicke | ± 0,050 mm | ± 0,020 mm | |
Toleranz von Chipgröße | ± 0,050 mm | (+ 0, -0,050 mm) | |
Schreiben und seine Genauigkeit | Anzahl der verfügbaren Schnitte | 0,15 mm, 0,20 mm | 0,10 mm |
Schnittgenauigkeit | ± 0,050 mm | ||
Die Leitungsband | minimale Linienbreite | 0,018 mm | 0,010 mm |
Die kleinste Nahtbreite | 0,018 mm | 0,010 mm | |
ein typischer Abstand von die Kante des Chips | 0,050 mm | 0,000mm | |
Die Strichzeichnung der speziellen Anleitung sollte schmaler sein als die entworfene Größe | 0,004 mm | ||
Widerstand | minimale Linienbreite | 0,050 mm | 0,008 mm |
minimale Leitungslänge | 0,050 mm | ||
Mindestabstand zwischen Widerstandskante und Leiter | 0,025 mm | 0,000mm | |
Mindestkontaktabstand zwischen Widerstand und Leiter | 0,050 mm | ||
Die Mindestabstand des Widerstandsfilms von die Chipkante | 0,050 mm | ||
Metallloch | Die kleinste Blende | 50um | |
Die Mindestabstand von der Rand des Lochs zum Rand der Figur | 80um | ||
Mindestabstand | 100um | ||
Die Mindestabstand von das Loch in der Mitte bis zum Rand des Chips | 75um |
Das Verpacken von Mikrowellenschaltungen erfordert die folgenden vier Grundfunktionen: mechanische Unterstützung und Umweltschutz, Spannungs- und Strompfad, Hochfrequenzkanalsignal, Steuersignal-Eingangs- und Ausgangspfad und Wärmeableitungspfad
unter Berücksichtigung der Übereinstimmung des Wärmeausdehnungskoeffizienten des Materials sollte das Verpackungsmaterial haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit Die Grundvoraussetzungen für Verpackungsmaterialien sind ein hoher Elastizitätsmodul, ein niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient, ein gutes Finish und eine gute Ebenheit
Die Die Montagedichte der HF-Kanalkomponenten ist sehr hoch, was zu einer hohen Wärmeentwicklung führt Einheit Fläche. Obwohl Viele der Abschnittstemperaturen von Mikrowellengeräten können 170 ℃ erreichen oben, aber falsche Auswahl des Verpackungsmaterials, Wärmekomponenten funktionieren nicht Schneller Export, Komponenten innerhalb und außerhalb des Temperaturgradienten sind zu groß, bilden sich im Inneren zu heiß oder zu heiß, verschlechtern die Leistung der Komponenten oder sind aufgrund der großen thermischen Beanspruchung beschädigt und machen die Schaltungsstruktur
ECRIM beschäftigt sich seit langem mit der Erforschung und Entwicklung von Metallgehäusen Sie haben die größte Produktionslinie für militärische Metallverpackungsschalen in China und verfügen über umfangreiche Erfahrung in der Entwicklung und Herstellung von Metallgehäusen Es verfügt über die Produktionsausrüstung und die technischen Fähigkeiten in Bezug auf die Schalenkonstruktion, die mechanische Verarbeitung, die Herstellung von Glasperlen, die Versiegelung der Luftdichtheit, das Löten, die Galvanisierung, die Zuverlässigkeitsprüfung usw. bietet zuverlässige Garantie für die Gestaltung der Hochfrequenzkanalstruktur Fig. 11 ist ein dreidimensionales Strukturdiagramm des Ku Band Hochfrequenzkomponentenstruktur für ein Projekt.
Die Das HF-Kanalmodulpaket ist für die Verwendung der luftdichten Gehäusetechnologie ausgelegt zielt darauf ab, die Umwelt zu isolieren, die Erosion von Schadstoffen zu verhindern und interne Geräte an Niederdruck und andere Arbeitsbedingungen anzupassen Erfüllen Sie gleichzeitig die Anforderungen an die elektromagnetische Verträglichkeit wie Abschirmung.
5 Merkmale von Mikrowellenprodukten mit Dünnschichttechnologie
5.1 hohe ZuverlässigkeitAufgrund der Einführung der Dünnschichttechnologie wurde eine große Anzahl von Widerstandsvorrichtungen in der ursprünglichen Schaltung direkt auf dem Substrat erzeugt, was reduzierte die Anzahl der geschweißten Bauteile und verbesserte die Dämpfungsgenauigkeit Gleichzeitig werden durch die direkte Verschweißung der Grundplatte des Kanalmoduls mit dem Hohlraum die mechanische Unterstützung und der Umweltschutz verstärkt, die Leistung der Hochfrequenzerdung erheblich verbessert und der Zuverlässigkeitsindex des Moduls umfassend verbessert welche ist für die Massenproduktion geeignet Produktion in der nationalen Armee Standard Produktionslinie, das Qualitätsniveau von G, h über.
5.2 starke Bedienbarkeit
Der modulare Aufbau wird übernommen, und das Kanalmodul und das Substrat auf Systemebene können für den Montagetest getrennt werden verbessert die Testeffizienz Aufgrund der effektiven Zerlegung der Testindikatoren kann der Produktionstest in zerlegt werden unabhängige Gruppen gleichzeitig
5.3 gut störungsfrei
Aufgrund des modularen Aufbaus ist das Kanalmodul in einem geschlossenen unabhängigen Hohlraum vollständig geschlossen, der ist anders als das Original multilaminar plus Hohlraum Layout. Daher kann es das Übersprechen von Mikrowellensignalen und Stromversorgungssignalen von besser abschirmen andere Kanäle.
5.4 kleines Volumen
Nach der Miniaturisierung wird die Fläche der Komponente um 1 / 3 reduziert bis 1 / 2, und die Schnittstellenform ist prägnanter. Die Die Signalübertragung zwischen den einzelnen Modulen der gesamten Maschine kann nur durch direktes Einstecken und Herausziehen des gemischten Kabels realisiert werden Hier sind zwei Beispiele für miniaturisierte Produkte.
* Seien Sie professionell in der Mikroelektronik wih 50 Jahre Geschichte
* Technologieführer, 1500 + Mitarbeiter von 50 % Engineering Team.
* Verbesserung der Fertigungskapazitäten, komplette Einrichtungen im eigenen Haus ( HTCC / LTCC / Dick Film / Dünn Film / AlN / DBC / Verpackungen / Öfen)
* High Quality Assurance, Chinas nationales Inspektionszentrum für Hybrid-Mikroelektronik in ECRIM.
* vertikale Integrationsfähigkeit von Rohmaterial, Komponenten, Geräte, Module, Ausrüstungen für die Systemintegration
* wettbewerbsfähiger Preis
* flexible Lieferung, kurze Vorlaufzeit
* schnelle Antwort.
* Kunden Design verfügbar.
