ECRI Microelectronics

Design eines geschlossenen Kontrollsystems für MEMS Gyroskop

Zusammenfassung: Das Open-Loop-Detektionssystem von MEMS-Gyroskop hat offensichtliche Nachteile in Anti-Interferenz-und Bandbreite, die die Anforderung der hohen Genauigkeit nicht erfüllen kann. Ein sensitiver Modus Closed-Loop-System auf der Grundlage der Force-Feedback-Balance von Silizium Mikro-Gyroskop entworfen auf der Grundlage der Darstellung des Arbeitsprinzips des Mikromechanischen Vibrationsgyroskops aus Silizium und der Analyse seiner dynamischen Eigenschaften in diesem Papier. Das empfindliche Signal wird durch das Ansteuersignal als Rückkopplungssignal moduliert, um die Corioliskraft nach Verstärkung, Filterung und Integration auszugleichen. Simulink wird verwendet, um das System mit geschlossenem Regelkreis zu simulieren. Die Ergebnisse zeigen, dass die Wechselstromrückkopplungskraft die Corioliskraft effektiv kompensiert und ausdehnt die Bandbreite, um eine effektive Signalextraktion und Kraftrückkopplungssteuerung zu realisieren.
Schlüsselwörter: MEMS, Gyroskop, Regelung, Force-Feedback.
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